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電子工業工程

   以芯片生產車間、集成電路無塵室和磁盤制造車間為代表的電子工業工程潔凈室(區)除了對微粒的嚴格控制外,還對溫濕度的控制、照度(甚至光源要求)微震等要求更嚴格,消除靜電對生產產品的影響,從而使環境達到電子產品在潔凈環境的生產工藝要求。

   潔凈室(區)的溫、濕度應根據生產工藝要求確定當生產工藝無具體要求時,其溫度可按20~26℃,相對濕度30%~70%采用。人員凈化用室和生活用室的溫度可按16~28℃采用。根據與國際ISO標注接軌的中國國家標準GB-50073,這類潔凈室(區)的潔凈度等級1~9級,其中1~5級,氣流流型為單向流或混合流,風速0.2~0.45m/s;6級氣流流型為非單向流,換氣次數50~60次/h;7級氣流流型為非單向流,換氣次數15~25次/h;8~9級氣流流型為非單向流,換氣次數10~15次/h。

根據現行規范,電子制造廠萬級潔凈室內的噪聲級(空態):不應大于65dB(A)
1.電子制造廠潔凈室垂直流潔凈室滿布比不應小于60%,水平單向流潔凈室不應小于40%,否則就是局部單向流了。
2.電子制造廠潔凈室與室外的靜壓差不應小于10Pa,不同空氣潔凈度的潔凈區與非潔凈區之間的靜壓差不應小于5Pa。
3.電子制造行業萬級潔凈室內的新鮮空氣量應取下列二項中的最大值:
4.補償室內排風量和保持室內正壓值所需的新鮮空氣量之和。
5.保證供給潔凈室內每人每小時的新鮮空氣量不小于40㎡。
無塵室的送風量,應取下面三項最大值:
●保證電子制造廠無塵室空氣潔凈度等級的送風量。
●根據熱,濕負荷計算確定電子廠潔凈室的送風量。
●向電子制造廠潔凈室內供給的新鮮空氣量。
這類潔凈室(區)有電氣、電子生產潔凈室、電子計算機潔凈室、半導體工業潔凈室等等。涉及凈化通風空調工程、公用動力系統、電氣工程、照明、電信、消防工程、動力設備安裝工程、彩鋼板圍護工程等。
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